三星故计重施，砸12亿重金买断EUV机台！

时间：2017-12-18 | 栏目：热点 | 点击：次

近日，全球各大半导体厂抢进先进制程，纷砸大钱向独家供应商艾司摩尔（ASML），订购要价1.5亿美元（折合人民币约10亿元）起跳的极紫外光微影设备（EUV）。据了解，ASML今年规划生产的12台EUV机台中，三星拟订下10台，外界推测三星此举除考量ASML生产不顺外，也趁机阻碍台积电等其他竞争对手的量产进度。详情一起来了解。

三星力拼7纳米制程随着半导体制程愈来愈先进，使得10纳米以下先进制程，必须导入波长只有13.5纳米的极紫外光（EUV），才能降低晶圆制造的光罩数，缩短晶片制程流程。

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